Чотирифтористий вуглець (CF₄) — фтор-вмісна сполука зі стабільними хімічними властивостями. Він зберігається в атмосфері до 50 000 років, має високий парниковий ефект і є екологічно нешкідливим. Вуглеводневі продукти можна використовувати як альтернативу CF₄.
CF₄ використовується як газ для плазмового травлення при виготовленні тонких схем на тонкоплівкових матеріалах, таких як кремній, діоксид кремнію та нітрид кремнію. Його надзвичайно низька температура кипіння (-128 градусів) робить його придатним для надпровідних досліджень, кріогенної хірургії та охолодження обладнання для інфрачервоного виявлення. Він також використовується як захисний газ при виплавці металів (наприклад, алюмінію та нержавіючої сталі) і як синтетична добавка в промисловості пластмас.
CF₄ не-токсичний і не-займистий, але високі концентрації можуть знизити парціальний тиск кисню та спричинити асфіксію (симптоми включають запаморочення та кому). CF₄ слід зберігати подалі від джерел тепла (температура зберігання менше або дорівнює 30 градусам) і уникати змішування з легкозаймистими матеріалами та окислювачами. CF₄ у балонах має бути захищений гумовим кільцем, щоб запобігти фізичному удару.
Популярні Мітки: тетрафтористий вуглець (cf₄) травильний газ, Китай тетрафтористий вуглець (cf₄) травильний газ виробники, постачальники, фабрика
